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KR101318810B1 관성 센서 모드 튜닝 회로 Google Patents 관성 센서 모드 튜닝 회로 Download PDF Info Publication number KR101318810B1. ...
링 또는 후프 형상의 공진기(1)를 포함하는 실리콘 MEMS 자이로스코프를 개시한다. 공진기(1)는, 심도 반응성 이온 식각(deep reactive ion etching) 기술을 이용하여 형성되고, 공진기(1)의 중립축(4)의 양측 상의 진공기(1)의 원주 주위로 연장되는 슬롯(5)이 형성된다.
본 발명은 mems 공진기, 이를 구비하는 센서 및 mems 공진기의 제조방법에 관한 것으로, 상기 mems 공진기는, 일면에서 리세스되는 리세스부를 구비하는 mems 공진기의 베이스 기판과, 상기 리세스부의 빈공간을 이용하여 진동하도록 상기 베이스 기판에 장착되고 적어도 일부가 상기 리세스부와 ...
Jul 24, 2016· 시장조사업체 IC인사이츠는 MEMS 센서·엑추에이터 시장이 2014년 기준으로 80억달러 규모를 형성할 것으로 전망했다. MEMS 반도체 시장은 경쟁 심화로 최근 성장통을 겪었다. 매출 기준 2012년 1% 역성장을 했고 2013년에도 의미 있는 성장을 달성하지 못했다. 그러나 ...
본 실시예의 또다른 목적 중 하나는, 혈압을 측정함에 있어서 간단한 준비만으로 용이하게 혈압을 측정할 수 있는 혈압 측정 방법과 혈압 측정 장치를 제공하는 것이다. 본 실시예에 의한 혈압 측정 시스템은 미리 정하여진 간격만큼 이격되어 배치된 복수의 광혈류량(Photoplethysmography) 측정 센서들과, 상기 복수의 광혈류량 측정 센서들이 측정한 혈류량 측정값들을 전송하는 ...
압력 센서는 일반적으로 평면 구조체와 압전 기판의 평면 구조체의 주위에서 압전 기판을 고정하는 앵커 위치를 포함한다. 압전 기판의 평면 구조체는 앵커 위치에 인접한 제1 특성 두께를 갖는 제1 영역을 갖고, 제2 영역은 기판의 중간 영역에서 제2 특성 두께를 갖는다.
본 발명은 mems 공진기, 이를 구비하는 센서 및 mems 공진기의 제조방법에 관한 것으로, 상기 mems 공진기는, 일면에서 리세스되는 리세스부를 구비하는 mems 공진기의 베이스 기판과, 상기 리세스부의 빈공간을 이용하여 진동하도록 상기 베이스 기판에 장착되고 적어도 일부가 상기 리세스부와 ...
G — PHYSICS; G01 — MEASURING; TESTING; G01L — MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE; G01L1/00 ...
자이로스코픽 센서, 공진기, 회전 측정 기구 본 발명은, 종 형상 또는 회전 돔 형상의 공진기로서, 상기 공진기의 축을 따라 고정되고, 상기 공진기의 고정점으로부터 축방향으로 간격을 두고서 상기 축에 수직인 평면에 위치된 원형 림을 구비하는 공진기(14)를 ...
ST microelectronics는 전 세계적으로 800여 개 이상의 MEMS 관련 특허 및 특허 애플리케이션을 보유하고 있으며, 하루 생산 가능 수량이 400만개 이상으로 현재까지 30억 개 이상의 MEMS 디바이스를 출하해온 세계 1위 MEMS 센서 제조사이다.
Abstract. 체내 이식형 혈압, 맥파 검사 장치가 개시된다. 혈압, 맥파 검사 장치는 감지부, 및 전송부를 포함한다. 감지부는 혈관에 흐르는 혈액의 압력을 감지하며, 전송부는 감지부에서 감지된 정보를 무선 전송한다. 혈압, 맥파 검사 장치가 체내에 이식되어 사용자에게 고통을 주지 않으면서도 용이하게 반복적인 검사를 수행할 수 있게 된다. 수신 시스템은 무선으로 정보를 ...
Abstract. 본 발명은 비침습 혈압측정 방법 및 장치에 대한 것으로, 공기주머니의 압력을 증가시키면서 피측정자의 손가락을 가압하고, 상기 가압된 손가락의 맥파를 PPG(Photo PlethysmoGraphy) 센서로 측정하여 맥파 크기가 최대인 압력값을 결정하는 단계와; 상기 공기주머니의 가압을 해제하는 단계와; 상기 결정된 압력값으로 상기 손가락을 재가압하여 맥파를 측정하는 단계와 ...
Mar 26, 2010· MEMS 압력 센서는 원형의 구동부와 Passive부의 왜곡 게이지로 구성되어 있다. 이 MEMS 압력 센서는 스위스의 Swiss Federal Institute of Technology of Lausanne(EPFL)의 개발 성과이다. ST는 MEMS 센서 개발을 2010년 2분기에 …
mems 기반 열전 바이오 센서. ... 공진기 방식의 바이오센서는 생화학 물질의 결합으로 인한 소자의 공진주파수 변화를 측정함으로써, 해당 물질의 검침이 가능합니다. ... 실시간 혈압 센서. 혈압의 실시간 측정을 위하여, 생체에 삽입할 수 있는 형태의 혈압센서를 ...
MEMS 제작을 위한 재료. MEMS의 제작은 반도체 제작기술에서 발달하였다. 즉, 기본적인 기술들은 물질층의 증착(deposition), 포토리소그래피(photolithography)를 통한 패터닝(patterning) 그리고 필요한 모양형태를 제작하기 위한 에칭(etching).. 실리콘. 실리콘은 대부분의 현재 산업의 가전 제품에 사용되는 집적 ...
G — PHYSICS; G01 — MEASURING; TESTING; G01L — MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE; G01L1/00 ...
May 29, 2020· 이러한 mems 시장의 확대의 배경에는 자동차 용의 것뿐만 아니라 소비자 용 mems 센서에 대한 수요 증가가 있습니다. 스마트 폰과 게임은 가속도 센서와 자이로 센서뿐만 아니라 향후 지문 센서, 혈압 센서 등 새로운 기능이 추가되어가는 것입니다.
RFMEMS 기술의 특허 동향. 1. 서론. MEMS(Micro Electro Mechanical System) 는 마이크로 머신, 마이크로 메카트로닉스 등의 동의어로서 혼용되고 있으며 초소형 시스템이나 초소형 정밀기계를 의미한다. 즉 개미와 같은 마이크로 로봇을 인공적으로 만들어 미소한 운동이나 작업을 시키려고 하는 것으로 크기는 ...
또한, 본 발명의 다른 카테고리로써 각각의 압력센서에서 혈압에 따라 정전용량이 변화하는 제 1 단계; 송신부가 정전용량에 기초하여 공진 주파수를 rfid 모듈을 통해 외부로 전송하는 제 2 단계; 저장부의 주파수 검출부가 공진 주파수를 수신하여 검출하는 제 3 단계; 저장부의 압력 변환부가 상기 검출된 공진 주파수에 기초하여 압력을 산출하는 제 4 단계; 및 저장부의 ...